(주)에이티에스는 반도체 및 광학 분야에서 요구되는 미진동제어와 관련하여 공압 서보밸브 개발을 통한 능동진동제어(Active Vibration Control) 시스템을 국내 최초로 상용화에 성공하였고, 이어서 힘평형 가속도 센서를 개발하여 적용함으로서 AVIS 의 완전 국산화를 달성하였습니다. 고무배합설계기술의 축적된 노하우를 기반으로 산업용 Air Spring 뿐만 아니라 전차와 자주포 등의 항법장치 및 현가장치에 적용되는 방진구를 개발하여 방위산업분야에서 중요한 역할을 담당하고 있습니다.

액티브 제어 시스템은 실시간 진동 측정과 데이터 피드백을 활용한 6자유도 방진 시스템으로서 반도체, OLED, 초정밀 공정 및 측정 분야에서 미세진동을 효과적으로 제어하며, 패시브 제어 시스템으로 장비의 중량 등 장비의 특성에 맞게 레벨링 벨브를 조절하여 방진구의 체적을 조절함으로써 효율적으로 진동을 제어합니다.
에어스프링은 방진구의 공기 체적을 활용하여 저주파 진동을 저감하여 장비 성능을 향상시키고 수명을 연장시켜 작업 환경을 개선합니다.